E06900 - SEMI E69 - Test Method for Determining Reproducibility and Zero Drift for Thermal Mass Flow Controllers Revision:SEMI E69-0298 (Reapproved 0913) - Inactive 本スタンダードでは，各用語について定義し，それを解釈することで，

本スタンダードでは，各用語について定義し，それを解釈することで，

Determination of water vapor barrier property of plastic films with high gas barrier used for electronics devices such as flexible displays

their specifications

SEMI E4-0923 (technical revision)

1に準拠するSAN通信スタンダードを規定するものである。本文書自体は，本スタンダードに準拠するインテリジェント・機器(デバイス)がSEMI E39と同様の考え方でSANを介して情報を交換する際にサポートしなければならないプロトコル，サービス，および挙動を規定している。

E06900 - SEMI E69 - Test Method for Determining Reproducibility and Zero Drift for Thermal Mass Flow Controllers Revision:SEMI E69-0298 (Reapproved 0913) - Inactive 本スタンダードでは，各用語について定義し，それを解釈することで，NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use. The purpose of this Document is to provide a standardized method to quantify the reproducibility and zero drift of a thermal mass flow controller (MFC). The intent of this Document is not to suggest any specific testing